iCV ME12

薄膜材料：有机聚合物薄膜沉积；
样品尺寸：最大12英寸基底样品;
单体气源：4~6条单体供气管道系统；
引发剂源：2条引发剂供气管道系统；
控制类型：手动进样，自动沉积控制；